晶圆检测解决方案---半导体解决方案

摘要

采用Viewsecctv威视电子工业相机系统，晶圆检测解决方案，在半导体行业的晶圆宏观检测设备中，我们为客户提供优质的可配置视觉系统及核心视觉器件。在相机端，我们有Viewsecctv威视电子的高速相机，最高行频能达到300K，最高分辨率达到16K，并有彩色型号；另外有256级TDI相机。相机的高分辨、高行频及TDI属性契合晶圆检测的高精度、高速度和高亮度的需求。 在镜头方面，我们可以提供AVENIR日本精工镜头、SPACECOM等大靶面、高倍率的远心镜头，满足半导体检测需求。在光源方面，我们有高亮灯箱，搭配点、环、线等不同光波导，更有多光谱灯箱和高速频闪灯箱及超高亮灯箱，在半导体晶圆检测设备中广泛应用。

行业概述

目前，随着电子产品需求的增加，半导体市场规模不断扩大，同时也推动了半导体检测市场的快速发展。目前，半导体检测主要应用于电子产品制造、汽车电子、航空航天等领域。同时，随着技术不断进步，新型材料和新型芯片也在不断涌现，这也对半导体检测技术提出了更高的要求。

一、方案概述

针对晶圆/外延片生产加工、半导体前/后道表面缺陷、膜厚测量以及LCD/LED的Array段中各类量检测需求。基于自主研发的超高速、大视野、高解析度成像系统结合脑启发人工智能技术，打造具有完全自主知识产权的高端检测设备。

二、方案难点

1.难成像；

2.高精度；

3.准确性要求高；

4.缺陷不规则性强；

三、方案优势

1.光学方案

针对客户定位引导等需求提供搭配镜头和光源的光学解决方案，交付更优质的图像。

2.多相机成像系统

针对多相机应用的场景，我们为客户选配各类型号的网卡，并提供搭配各系统和工控机的多相机长时间稳定性测试。

3.自主相机

Viewsecctv威视电子自主研发的面阵工业相机，给客户提供较高的性价比。